97国际游戏app-一种管道漏液报警装置制造方法及图纸

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　　本技术提供了一种管道漏液报警装置，包括漏液收集结构、导液管和报警电路，所述漏液收集结构围设在所述管道外部，所述导液管的一端与所述漏液收集结构连通，收集所述漏液收集结构的漏液；所述导液管的内壁设有至少两相对设置的导电触片，所述两导电触片分别接入所述报警电路回路的两端；所述导液管内设有随漏液量变化而位置变化的导电卡块；当所述漏液量超过或等于设定报警值时，所述导电卡块位于所述两导电触片之间，接通所述报警电路。本技术通过管道漏液报警装置来监测管道的漏液问题，一旦监测到漏液，就会发生警报，便于工程师在现场巡检时第一时间发现漏液情况进行处理。

　　1、集成电路制造工厂大多都是四层结构，从上至下分别为：上技术夹层，洁净生产层，洁净下技术夹层和非洁净下技术夹层。其中生产制造芯片所需的化学气体和液体是由厂务端通过复杂的运输管道连接到机台端进行生产制造的。由于管道的连接处常使用法兰连接，一旦管道连接处出现螺栓松动、密封垫老化或操作不当等，连接处易于漏液。而预埋在洁净室高架地板下的管道具有隐蔽性，当法兰接口处出现漏液时难以被发现。当出现大面积或大流量的漏液时，不仅会影响洁净室的洁净度，还会浸湿甚至腐蚀法兰承漏盘附近的芯片制程机台设备，这可能会造成巨大损失。因此，管道漏液是集成电路制造生产运行中所面临的重要问题，特别是对于具有隐蔽性的管道，当管道出现漏液时难以被发现。

　　1、为了解决上述问题，本技术提供了一种管道漏液报警装置，包括漏液收集结构、导液管和报警电路，所述漏液收集结构围设在所述管道外部，所述导液管的一端与所述漏液收集结构连通，收集所述漏液收集结构的漏液；所述导液管的内壁设有至少两相

　　1.一种管道漏液报警装置，其特征在于，包括漏液收集结构、导液管和报警电路，所述漏液收集结构围设在所述管道外部，所述导液管的一端与所述漏液收集结构连通，收集所述漏液收集结构的漏液；所述导液管的内壁设有至少两相对设置的导电触片，所述两导电触片分别接入所述报警电路回路的两端；所述导液管内设有随漏液量变化而位置变化的导电卡块；当所述漏液量超过或等于设定报警值时，所述导电卡块位于所述两导电触片之间，接通所述报警电路。

　　2.根据权利要求1所述的管道漏液报警装置，其特征在于，所述导电卡块为导电浮球，所述导电浮球直径大小在所述导电触片的间距的大小以上。

　　1.一种管道漏液报警装置，其特征在于，包括漏液收集结构、导液管和报警电路，所述漏液收集结构围设在所述管道外部，所述导液管的一端与所述漏液收集结构连通，收集所述漏液收集结构的漏液；所述导液管的内壁设有至少两相对设置的导电触片，所述两导电触片分别接入所述报警电路回路的两端；所述导液管内设有随漏液量变化而位置变化的导电卡块；当所述漏液量超过或等于设定报警值时，所述导电卡块位于所述两导电触片之间，接通所述报警电路。

　　2.根据权利要求1所述的管道漏液报警装置，其特征在于，所述导电卡块为导电浮球，所述导电浮球直径大小在所述导电触片的间距的大小以上。

　　3.根据权利要求2所述的管道漏液报警装置，其特征在于，所述导液管包括u型管和延伸管，所述u型管的...